今天我們來了解一下潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)什么來確定的，下面我們來了解下： 潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別 是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
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